是湖北首家晶圆再生工厂。 4 月 29 日在黄石开发区举办投片典礼，高启全亲身到会该典礼。

  高启全对《问芯Voice》表明，晶芯半导体一期规划的月产能 10 万片已于 2020 年 7 月开工建造，2021 年 4 月底部分试产，2021 年 6 月全面投产，并估计于 2022 年上半年达产。

  晶芯半导体项目是由高启全与台湾半导体设备与再生晶圆供货商厂辛耘企业所创建，总出资 23.13 亿元，用地面积 72 亩，分四期建造。该项目悉数建成达产后，估计可达月产能 40 万片，年经营收入可达 10.08 亿元，年税收 1.43 亿元。

  高启全表明，中国大陆的 12 寸晶圆厂出资需求有完善的供给链来保证工厂运营安稳及本钱竞赛力，这也是 2020 年 9 月他脱离紫光集团，转战半导体供给链范畴的根本原因之一。他除了在黄石创建第一家芯片原物料公司，也在其他省份区域出资晶圆厂所需求的要害原物料。

  大陆的半导体晶圆厂一座座盖起，对晶圆再生需求十分微弱，短板是没有本地供给的晶圆再生厂，都要从海外运到大陆，本钱无形中垫高。

  再生晶圆每片单价约 20 ～ 30 美元，收回可再运用 4 ~ 7 次，如果把再生晶圆从台湾运到大陆运用，运费等要素会导致每片晶圆的本钱多出 4 美元。持久来看，工厂要建立在大陆供给本地晶圆厂才会有竞赛力。

  对高启全而言，脱离紫光后参加大陆半导体供给链的打造，既不与紫光集团相竞赛，又能帮忙现在很多的本地晶圆厂强化出产竞赛力。

  晶芯半导体黄石公司初期是出产晶圆再生，全期共有四条出产线 寸厂的产能需求同步出资扩大。现在一期 10 万片的厂房建造和机台装置阅历了 9 个月时刻顺利完成。

  高启全也着重，该厂房选用的出产设备是最先进的机型，厂务体系和洁净车间的规划能保证安稳、安全、无污染出产，在今年底会导入自动化转移体系。

  硅片在晶圆厂中的运用可大致分为两大类：正片是被直接用在半导体加工，包含抛光片、外延片等；另一种是用于监控测验的硅片，包含控片（monitor w）、档片/测验片（dummy wafers）、测验晶圆（Test Wafer）。

  所谓再生晶圆（reclaim wafer），并非指IC 不良品的再运用，而是将芯片制作中运用过的控片（Monitor wafer）及档片/测验片（Dummy wafer）供给收回再运用服务，首要是经过刻蚀、轮磨、化学机械抛光及清洗等工艺，将晶圆外表康复到初始状况，再投入出产线运用，首要客户为全球晶圆制作及晶圆代工厂商。

  控片首要用来监控机台的制程才干是不是安稳、出产环境是否洁净。运用控片，可以对离子注入、薄膜堆积、光刻、刻蚀和研磨等工艺中的电阻率、薄膜堆积速率、刻蚀速率、研磨速率、均匀性等进行监测。

  挡片的效果首要是保持机台的安稳，运用目标包含炉管、暖机挡片、传送挡片等。在炉管中，挡片被用来阻隔工艺条件较差的部分，以及填充产品缺乏时空出的方位，对炉管内的气流进行阻挠分层，并让温度均匀分布。

  控片和挡片的来历可所以全新晶圆或是是再生晶圆。全新晶圆是由晶棒两边质量较差场所切开出来的部分。再生晶圆是指收回重复运用的挡控片。因为挡控片的耗费量大，若都运用全新的挡控片，会导致本钱过高，因而就有了晶圆再生的生意呈现。

  依据 2018 年 SEMI 陈述数据显现，再生矽晶圆商场 2017 年达 5.1 亿美元，2018 年上扬 19% 并到达 6.03 亿美元的规划，首要是日本供货商称雄商场，在 8 寸和 12 寸再生晶圆产能方面占比最高。

  现在全球前四大再生晶圆供货商龙头为日本 RS Technologies，其他四家为台湾供货商：升阳、中砂与辛耘。

  与高启全一同携手创建晶芯半导体的辛耘企业，首要是做三大事务：署理设备、克己设备与再生晶圆，占比最大的是署理设备约占 58%。

  大陆简直一切 12 吋晶圆厂都是辛耘的客户，因而辛耘对大陆半导体工业市况很熟悉，以为要在大陆本地设厂，就近服务当地客户，才干契合功率和本钱。

  现在辛耘在台湾的再生晶圆事务月产能约为 12 万片，估计在台厂房今、明两年要再扩 4 万片，上看 16 万片。

  原文标题：“台湾DRAM教父”高启全到会黄石晶芯投产典礼，再生晶圆项目6月全面发动

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